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HP3542-Y/HP3545-Y 四探针方块电阻测试仪

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概述

HP3542-Y/HP3545-Y 是一款专业级四探针方阻测试仪,基于经典四探针法原理,专为材料表面方阻与体电阻率的精确测量而设计。该系列仪器测试范围覆盖 0 至 1200MΩ,最小分辨率达 0.01μΩ,支持电阻 (最高精度 0.01%) 与方阻 (最高精度 2%) 的高精度测量,并实现电阻率与电导率同步显示,是半导体、功能性涂层及导电薄膜等行业材料导电性能分析的理想工具。

■ 多参数同屏显示

实时同步显示电阻/方阻、电阻率及电导率,提升测试效率。


■ 超高精度与分辨率

电阻测量精度高达0.01%,最小分辨率0.01μΩ;方阻测量精度达2%。


■ 双电测原理

内置先进算法,有效修正探针游移带来的误差,显著提升方阻测试的精度与长期稳定性。


■ 灵活配置

提供直排与矩形测试探头可选,适配不同样品形态与测试场景。


■ 高效通讯与软件支持

标配RS232、LAN接口,可搭配专业上位机软件,实现测试数据实时记录与追溯。

  • 半导体材料
    精确测量硅片等半导体材料方阻,评价掺杂浓度与扩散均匀性,助力工艺优化。
  • 金属涂层
    快速检测金属镀层、涂层方阻,判定厚度与导电性能一致性,保障镀层质量。
  • 导电薄膜
    准确测量 ITO 等透明导电膜方阻,评估薄膜光电特性与品质,优化膜层工艺。
型号

HP3542-Y

HP3545-Y

测试参数电阻:R 方阻:Rsq 电阻率:RY 电导率:CY
分辨率0.1μΩ0.01μΩ
测试范围电阻、方阻:0.0001mΩ~10.0000MΩ电阻、方阻:0.00001mΩ~1200.00MΩ
电阻率范围取决于电阻测试范围及被测件尺寸
测试方式单电测、双电测
测量精度电阻:0.01% 方阻:2%
测试速度快速2.2ms,中速(50Hz:21ms,60Hz:18ms),慢速1(102ms),慢速2(202ms)
量程20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/
200kΩ/2000kΩ/10MΩ,10量程自动或手动
10mΩ/100mΩ/1000mΩ/10Ω/100Ω/1000Ω/
10kΩ/100kΩ/1000kΩ/10MΩ/100MΩ/1000MΩ
信号源恒流 DC 1μA~1A
温度范围:-10℃~60℃;精度:1℃范围:-10℃~200℃;精度:1℃
校正全量程内短路清零
比较器10档分选;实现HIGH/IN/LOW分选
内部数据保存搭配电脑软件记录测试数据
触发模式内部触发(INT),外部触发(EXT)
接口RS232接口,LAN接口,I/O接口RS232接口,LAN接口、I/O接口,模拟输出接口
附件电源线、L9344测试线、L9348‑1M测温探头、RS232通讯线缆、L9342连接线、PB36‑T、四探针直排与四探针矩形(二选一)
电源电压:100V AC~240V AC;AC频率:50Hz~60Hz;额定功率:40VA
尺寸与重量325mm*215mm*96.5mm;重量:2kg
标配
配件名称
型号
点击链接
L9348-1M温度探头
详情
L934X-12测试线
详情

选配
配件名称
型号
点击链接
资料名称
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